產品簡介
D9650和上一代產品一樣提供了良好的精度和穩(wěn)健性，增加了一個合并了PolyGate™技術和Sonolytics™的改進型的電子與軟件平臺。D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是理想的用于失效分析、工藝開發(fā)、材料特性和小批量生產的工具。
產品原理
利用不同材料對超聲波聲阻抗不同，對聲波的吸收和反射程度不同，來探測半導體、元器件的結構、缺陷、對材料做定性分析。
特點和優(yōu)勢
* 帶有Multi-Gate™ 及Probing-Gate™ 功能的PolyGate™ 技術可以進行單一及多層自動聚焦成像
* 每頻道多達100個Gates
* Windows 10® Sonolytics 2™ 界面，64字節(jié)處理能力
* 線性馬達掃描儀可掃描JEDEC托盤
* 帶有塔式安裝掃描參考平臺及樣品定位架，更加精準
* 方便使用掃描區(qū)域使安裝、拆卸更加方便，可以掃描JEDEC托盤或300mm晶圓片
* 定量的B-Scan是Sonoscan獨有的分析模式(Q-BAM)
* B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖，并帶有準確的極性、幅值和深度數據
D9650 C-Mode 掃描聲學顯微鏡是新一代聲學顯微圖像（AMI）技術革新的一部分。無論你需要用于失效分析、工藝開發(fā)、材料特性和小批量生產或其它的試驗室檢查，D9650都會提供這些服務能力。
先進的Sonoscan 功能增加了價值和信心，比如Visual PolyGate™、移動地圖、像素間距等等。具有的大尺寸、容易進入的且有燈光照明的掃描區(qū)域，以及它掃描塔的參考掃描和固定裝置使得D9650有能力來快速的掃描各種樣品，包括從單個器件到兩個JEDEC托盤的器件。
除了充滿Sonoscan創(chuàng)新外，D9650還是為用戶用心設計的。它的人體工程學特點使得使用比較舒適和方便。它的先進應用軟件Sonolytics™和新的直觀的操作界面菜單有助于使結果良好展現，并同時節(jié)省了操作員的時間。D9650是新一代的C-SAM設備，提供了一整套的技術、人體工程學等。
廠務需求
通用電壓 - 90V到250V AC，單相，50/60 Hz，15安培（120V）
外形–直式桌子：長寬高 1.89 x 0.74 x 1.58 m （74.5 x 29.0x 61.9 英寸）
